何謂無塵室? 無塵室隔間、價格、材質分析，是指一個具有低汙染水準的環境，將空間範圍內空氣中的污染來源如灰塵隔離，大多數無塵室環境通常具有復雜的HVAC系統。常見的系統類型從HVAC單元開始，HVAC單元通過天花板中的HEPA過濾器然後向下進入房間。空氣分層向下流動，稱為層流，然後被吸收在靠近地板的格柵中。從這裡，空氣通過HVAC單元返回，整個過程重新開始。
無塵室分類使半導體製造商能夠創建滿足手頭需求的設施。該分類由房間中立方米空間中的特定尺寸的顆粒數表示。例如，普通室內空氣具有1,000,000,000個每立方米0.1微米或更大的顆粒，而ISO 1類分類僅有10個顆粒，每立方米0.1微米或更大。
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